淨室
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净室(Cleanroom),又称无尘室或洁净室,指通过控制空气中的微尘粒子、悬浮颗粒及化学挥发性气体等污染物来维持低污染水平的环境,其洁净度通常以每立方米颗粒数或最大颗粒尺寸为标准。该环境广泛应用于半导体生产、生物技术、制药及精密机械制造等领域,其中半导体行业对温湿度与洁净度控制要求尤为严格。净室技术的理论基础融合数学、统计学及工程学原理。20世纪80年代起,净室技术逐步应用于工业实践,空气处理流程包括外气空调箱初步过滤、冷却盘管降温、循环风扇带动气流及超高性能过滤网过滤等环节。软件工程研究所确认净室与软件能力成熟度模型(CMM)具有兼容性,相关理论在决策理论、先进统计设计等领域取得进展。
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